真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，針對(duì)工件通孔口徑較小的真空室，提供一種密封性好、所占空間小、加工和日常維護(hù)都較方便的真空系統(tǒng)用的真空插板閥。本發(fā)明的技術(shù)方案為一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥，包括驅(qū)動(dòng)元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接，閥體的左右兩側(cè)壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通，閥芯設(shè)于閥體內(nèi)部，驅(qū)動(dòng)元件末端穿過(guò)閥體頂部并與閥芯頂部固定連接， 下清潔蓋板設(shè)于閥體底部。所述驅(qū)動(dòng)元件與閥體頂部相接處設(shè)有密封件，可有效提高驅(qū)動(dòng)元件運(yùn)行的可靠性和閥體內(nèi)部的密封性。根據(jù)實(shí)際需要，閥芯及閥體中部空間的結(jié)構(gòu)形式主要有2種下清潔蓋板設(shè)于閥底通孔下方。所述閥芯的第三側(cè)面和第四側(cè)面上還分別開有設(shè)置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設(shè)密封圈，可更好地提高其密封效果。

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范

  　　真空插板閥的工作原理是閥通過(guò)閥桿的左右或上下運(yùn)動(dòng)，將閥板與閥座壓緊實(shí)現(xiàn)密封。驅(qū)動(dòng)閥桿運(yùn)動(dòng)的方式有手動(dòng)、電動(dòng)、氣動(dòng)三種。手動(dòng)是通過(guò)手輪的旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)閥桿和閥桿上的螺母或四桿連動(dòng)式的閥桿使閥板運(yùn)動(dòng)。

　　手、電兩用的傳動(dòng)部件由直流電動(dòng)機(jī)、齒輪箱組成。電動(dòng)操作時(shí)，電動(dòng)機(jī)按某一方向（如關(guān)閉方向）旋轉(zhuǎn)，并通過(guò)傳動(dòng)部件使四桿連動(dòng)式的閥桿往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)閥板進(jìn)入與閥座密封部位時(shí)，閥板靠板式彈簧部件的作用，使閥板壓緊。

　　此時(shí)裝有行程開關(guān)而自動(dòng)切斷電源，運(yùn)動(dòng)立即停止。反之，若需打開閥門時(shí)，只需按反轉(zhuǎn)電鈕即可。手動(dòng)時(shí)，只需松開手輪背帽，按一定方向用手轉(zhuǎn)動(dòng)手輪即可。手、電兩用的超高真空插板閥外形圖。該閥結(jié)構(gòu)合理，閥板與閥體密封時(shí)漏氣速率小于1×10-7Pa·L/s；閥門總漏氣速率小于5×10-8Pa·L/s；閥板開啟時(shí)閥體烘烤溫度小于150℃；手動(dòng)裝置允許受熱溫度小于65℃；工作穩(wěn)定可靠，操作方便；可遠(yuǎn)距離控制。氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)部件以壓縮干燥空氣為動(dòng)力，通過(guò)電磁換向閥使氣動(dòng)部件帶動(dòng)傳動(dòng)裝置，使閥門往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)啟閉作用，達(dá)到密封的目的。

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范有高真空插板閥和超高真空插板閥兩種。

　　1、高真空插板閥主要用于高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流，可安裝在被抽真空容器（真空室）與真空泵之間；或用于在半連續(xù)真空作業(yè)的進(jìn)出料容器上。使用溫度為-20～80℃，不適用于對(duì)黑色金屬有腐蝕性或含顆粒狀物灰塵的氣體。

　　2、超高真空插板閥主要用于超高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流。適用的介質(zhì)為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體；適用溫度在閥門開啟時(shí)，閥體允許烘烤溫度小于150℃。

　　由于真空插板閥具有流導(dǎo)大，密封性能好，放氣率低，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便，安裝位置可任意選擇等一系列優(yōu)點(diǎn)，因此真空插板閥廣泛用于中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統(tǒng)中。

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范的形式和性能參數(shù)

　　1、高真空插板閥的形式與基本參數(shù)，已有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JB/T 4077—91）。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的高真空插板閥的形式和基本參數(shù)，適用于1.3×10-5～1.0×105Pa真空系統(tǒng)中用來(lái)開啟或隔斷氣流的插板閥。開啟閥門時(shí)，閥板兩側(cè)的壓差應(yīng)小于或等于2.7kPa。

　　2、我國(guó)生產(chǎn)的超高真空插板閥有手動(dòng)（CC型）、氣動(dòng)（CCQ型）和電動(dòng)（CCD型）三種。適用于介質(zhì)為清潔空氣及非腐蝕性氣體的超高真空系統(tǒng)中切斷或接通氣流。其中GC型系列高真空插板閥是以螺桿傳動(dòng)來(lái)推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng)，撐開閥板關(guān)閉，又靠彈簧力收攏閥板打開的高真空閥門；GCQ系列以壓縮空氣為動(dòng)力推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉。

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范

　　這兩種閥的材料為不銹鋼，漏氣速率不超過(guò)1.3×10-7Pa·L/s。GCD型系列閥門形式同CCD型超高真空插板閥，只是連接法蘭按高真空法蘭由刀口金屬密封結(jié)構(gòu)改為丁腈橡膠圈密封結(jié)構(gòu)；閥體閥板材料可為不銹鋼或碳鋼鍍鎳，閥板密封件材料為丁腈橡膠。適用范圍為1.3×104～105Pa。

上述的結(jié)構(gòu)，所述密封板在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用下在閥體內(nèi)徑向移動(dòng)至進(jìn)出口處，軸 向向下移動(dòng)至出口端，設(shè)置于密封板下端的密封圈與所述出口端的連接法蘭接觸密 封，所述插板閥關(guān)閉，開啟過(guò)程相反，首先密封板軸向向上移動(dòng)，所述密封圈與所述出 口端的連接法蘭脫離，徑向移動(dòng)至密封板離開所述進(jìn)出口位置；在上述的開啟及關(guān)閉過(guò)程 中，由于與所述的密封圈對(duì)應(yīng)位置的密封板內(nèi)的水冷通道內(nèi)部通過(guò)軟體進(jìn)出水管有冷 卻介質(zhì)流動(dòng)，因此，有效降低了密封圈的溫度，所述軟體進(jìn)出水管設(shè)置在閥體內(nèi)，并隨 所述密封板的移動(dòng)而在所述閥體內(nèi)移動(dòng)，不影響動(dòng)密封配合，確保了動(dòng)密封的良好密封性能同時(shí)延長(zhǎng)了密封圈的使用壽命。